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측정 데이터 분석
파일을 추가하고 곡선을 비교하세요.
분석 조건
세부 분석 설정
Advanced quality thresholds
최대 |Ig| 초과 경고용이며 Ioff 계산에는 영향을 주지 않습니다. Ioff = 전체 sweep의 min |Id|.
R² · voltage span · monotonicity · neighboring slope change ≤5% · sufficient current response · |Iɢ|/|Iᴅ| ≤0.5
Extraction equationsμlin = |a| / (Cᵢ·W/L·|Vᴅ|) · μsat = a² / (0.5·Cᵢ·W/L) · Vth = −b/a
TRANSFER CURVE
측정 파일을 추가해주세요
분석 결과와 비교 그래프가 이곳에 표시됩니다.
공정 맵
0개 저장 · 검색 결과 0개
현재 필터의 Include · Transfer 데이터 0개를 사용합니다. Exclude 및 Output은 통계에서 제외합니다. 다른 공정조건이 섞이지 않도록 공통 필터를 먼저 지정하세요.
성능 목표 · Yield 기준 최소 N = 3
기존 분석 Pass/Review와 별개입니다. 빈 칸은 해당 기준을 사용하지 않습니다. 활성 기준을 모두 만족해야 성능 Pass입니다.
μlin ≥ (cm²/V·s) 30Ion/Ioff ≥ 1.00e+5|Vth| ≤ (V) 3Hysteresis ≤ (V) 1
표시할 유효한 성능값이 없습니다.
조건별 통계
통계값 설명
산술 통계는 원래 단위로 계산합니다. STD는 표본표준편차(n−1), 사분위수는 선형보간 방식입니다. Box whisker는 1.5×IQR 안의 실제 측정값까지 표시합니다. N=1의 STD는 —입니다.
| 조건 | N | Valid N | Mean | Median | STD (n−1) | Min | Max | Q1 | Q3 | IQR | 성능 Pass | 목표값 누락 | 성능 Yield (%) | 분석 Pass/N | 표본 경고 |
|---|
개별 소자 확인 0개 · 잠재 outlier 0개
그룹별 선택 Metric의 IQR로 표시합니다. 제외하려면 ‘검토 / 제외’를 눌러 사유와 함께 저장하세요.
| Batch / Sample / Device | 선택 Metric | 분석 품질 | 성능 기준 | Outlier | 검토 |
|---|
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Batch 간 재현성 비교
Batch-to-Batch comparison
입력된 공정·소자 조건이 모두 동일한 행끼리 묶은 뒤 Batch를 비교합니다. Sample/Device ID·측정일·메모는 조건 일치 판정에서 제외합니다. 미입력 값끼리의 일치는 실제 공정이 동일했다는 증거가 아닙니다.
비교할 Include · Transfer 데이터가 없습니다.
현재 필터의 Include · Transfer 데이터만 사용합니다. 분석 Review 소자도 자동 삭제하지 않으며 필요하면 공통 필터로 구분할 수 있습니다.
성능 목표 · Yield 기준 최소 N = 3
기존 분석 Pass/Review와 별개입니다. 빈 칸은 해당 기준을 사용하지 않습니다. 활성 기준을 모두 만족해야 성능 Pass입니다.
μlin ≥ (cm²/V·s) 30Ion/Ioff ≥ 1.00e+5|Vth| ≤ (V) 3Hysteresis ≤ (V) 1
Process Window 표시 기준
Window 후보 = 각 활성 성능 기준의 중앙값 충족 + 개별 소자의 동시 충족 Yield ≥ 70% + 전체 N 및 목표값이 모두 있는 N ≥ 3. Vth는 |Vth|의 중앙값을 사용합니다. 색상 대표값을 바꿔도 Window 판정 기준은 동일합니다.
측정된 조합만 판정합니다. 칸 사이 보간이나 미측정 조건의 합격 추정은 하지 않습니다. 이는 검증된 연속 Process Window가 아니라 현재 데이터의 후보 조건입니다.
두 축의 공정조건이 입력된 데이터가 없습니다.
데이터 내보내기
0개 선택Export는 현재 필터에 보이는 선택 행만 포함합니다. Exclude 행도 선택·내보낼 수 있습니다.
CSV / Excel Import
요약 데이터를 새 행으로 가져옵니다. sampleId, deviceId, batchId는 필수이며 템플릿의 영문 열 이름과 단위를 유지해주세요. 원본 곡선은 요약 파일만으로 복원되지 않습니다. 분석 상태를 모르면 quality를 비워두세요.
0개 결과
| Batch / Sample / Device | μlin | Ion/Ioff | Vth (V) | 분석 품질 | 통계 포함 | 원본 / 수정 |
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저장된 데이터가 없거나 필터와 일치하는 행이 없습니다. Analysis에서 공정조건을 입력해 저장하거나 요약 파일을 Import하세요.
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